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真空吸笔使用规范

  真空吸笔使用规范_制度/规范_工作范文_实用文档。真空吸笔使用规范 使用真空吸笔的目的 一、避免Wafer的正面在传递和转移中和其他 物体有物理接触。从而把Particle和Scratch 等造成的不良降到最低。 二、用手和镊子夹去Wafer的情

  真空吸笔使用规范 使用真空吸笔的目的 一、避免Wafer的正面在传递和转移中和其他 物体有物理接触。从而把Particle和Scratch 等造成的不良降到最低。 二、用手和镊子夹去Wafer的情况要尽量避免 和杜绝。 正确的使用方法示范 放置平稳,方 便操作 Step 1: 首先把 Cassette放置 在作业台上, 并保证放置平 稳,方便操作。 正确的使用方法示范 检查Wafer的方 向是否正确,确 保方向一致。 Step 2:认 真检查 Cassette 放置方向 是否正确。 Cassette 内的Wafer 是否有方 向防反的 现象。 正确的使用方法示范 拿稳吸笔,用拇 指控制开关。 Step 3: 拿紧真空 吸笔,用 食指夹紧 开关的前 端,拇指 推动开关。 正确的使用方法示范 笔头完全和 Wafer接触, 防止吸力不足 而导致滑落。 Step 4: 笔头平 行轻触 Wafer背 面,并确 保笔头完 全和 Wafer接 触,吸稳 Wafer。 正确的使用方法示范 Step 5: 垂直平稳抽出,以 Wafer背面受力, 并保持Wafer正面 不受力。 以Wafer 的背面为 着力点, 垂直将 Wafer抽 出。速度 保持平稳。 以Wafer的背面为受 力点,避免正面和 Cassette摩擦。 正确的使用方法示范 倾斜一定角度,并 将Wafer对准位置, 避免错位。 Step 6: 将Cassette 倾斜一定角 度,将 Wafer对 好要放置 的位置。 插入Wafer,避免正 面和Cassette产生 摩擦。 Step 7: 以Wafer 的边缘 和背面 为受力 点,插 入 Cassett e 以Wafer背面和边缘 为受力点插入。 笔头不要没入Wafer 内,避免与邻近的 Wafer光面接触到。 Step 8: 笔头前端 和前一片 Wafer平 齐时。关 闭真空开 关。使其 轻轻滑入 Cassette。 让Wafer轻轻滑落 入Cassette。 Step 9: 关闭真空 开关, 使Wafer 边缘和 背面与 Cassett e接触并 轻轻滑 落 错误的使用方法 以下列举几种错误使用方法,请大家在今 后的使用过程中坚决避免! 错误的使用方法 未垂直抽取Wafer,造成 与领近的Wafer摩擦。 错误的使用方法 未垂直抽取Wafer,造 成与领近的Wafer摩擦。 错误的使用方法 笔头插入过深,容 易造成邻近的 Wafer划伤。 错误的使用方法 笔头插入过深,容 易造成邻近的 Wafer划伤。 错误的使用方法 摆放错位!! 错误的使用方法 摆放错位!! 错误的使用方法 摆放错位!! 错误的使用方法 笔头未完全吸 住Wafer,容 易滑落!! 错误的使用方法 笔头未完全吸住 Wafer,容易滑 落!!


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