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真空吸笔使用规范ppt课件

  真空吸笔使用规范ppt课件_语文_小学教育_教育专区。真空吸笔使用规范 . 使用真空吸笔的目的 一、避免Wafer的正面在传递和转移中和其他 物体有物理接触。从而把Particle和Scratch 等造成的不良降到最低。 二、用手和镊子夹去Wafer

  真空吸笔使用规范 . 使用真空吸笔的目的 一、避免Wafer的正面在传递和转移中和其他 物体有物理接触。从而把Particle和Scratch 等造成的不良降到最低。 二、用手和镊子夹去Wafer的情况要尽量避免 和杜绝。 . 正确的使用方法示范 放置平稳,方 便操作 Step 1: 首先把 Cassette放置 在作业台上, 并保证放置平 稳,方便操作。 . 正确的使用方法示范 检查Wafer的方 向是否正确,确 保方向一致。 . Step 2:认 真检查 Cassette 放置方向 是否正确。 Cassette 内的Wafer 是否有方 向防反的 现象。 正确的使用方法示范 拿稳吸笔,用拇 指控制开关。 . Step 3: 拿紧真空 吸笔,用 食指夹紧 开关的前 端,拇指 推动开关。 正确的使用方法示范 笔头完全和 Wafer接触, 防止吸力不足 而导致滑落。 . Step 4: 笔头平 行轻触 Wafer背 面,并确 保笔头完 全和 Wafer接 触,吸稳 Wafer。 正确的使用方法示范 Step 5: 垂直平稳抽出,以 Wafer背面受力, 并保持Wafer正面 不受力。 以Wafer 的背面为 着力点, 垂直将 Wafer抽 出。速度 保持平稳。 . 以Wafer的背面为受 力点,避免正面和 Cassette摩擦。 . 正确的使用方法示范 倾斜一定角度,并 将Wafer对准位置, 避免错位。 Step 6: 将Cassette 倾斜一定角 度,将 Wafer对 好要放置 的位置。 . 插入Wafer,避免正 面和Cassette产生 摩擦。 . Step 7: 以Wafer 的边缘 和背面 为受力 点,插 入 Cassett e 以Wafer背面和边缘 为受力点插入。 . 笔头不要没入Wafer 内,避免与邻近的 Wafer光面接触到。 . Step 8: 笔头前端 和前一片 Wafer平 齐时。关 闭真空开 关。使其 轻轻滑入 Cassette。 让Wafer轻轻滑落 入Cassette。 Step 9: 关闭真空 开关, 使Wafer 边缘和 背面与 Cassett e接触并 轻轻滑 落 . 错误的使用方法 以下列举几种错误使用方法,请大家在今 后的使用过程中坚决避免! . 错误的使用方法 未垂直抽取Wafer,造成 与领近的Wafer摩擦。 . 错误的使用方法 未垂直抽取Wafer,造 成与领近的Wafer摩擦。 . 错误的使用方法 笔头插入过深,容 易造成邻近的Wafer 划伤。 . 错误的使用方法 笔头插入过深,容 易造成邻近的 Wafer划伤。 . 错误的使用方法 摆放错位!! . 错误的使用方法 摆放错位!! . 错误的使用方法 摆放错位!! . 错误的使用方法 笔头未完全吸 住Wafer,容 易滑落!! . 错误的使用方法 笔头未完全吸住 Wafer,容易滑 落!! .


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